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SOLTI Co.,Ltd.

ETC031-319-1623

ULPA FILTERModify Date : 2018-11-23 01:20:33

ULPA FILTER



1. Performance

ULPA FILTER is an ultra high performance filter that can capture more than 99.9995% of particle size 0.1 ~ 0.12 µm.


2. Uses

Semiconductor, Ultra LSI Plant, CLEAN-BENCH, etc.


3. Performance Curve

 

 

4. Material composition condition

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