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반도체장비 최종 수정 일자 : 2020-10-16 10:59:37
반도체장비
xy 다축형, 커스텀 메이드 스테이지
고강성/ 고정밀대응 디자인
Z,Tteta 축 결합용이(최저높이제공)
높은 속도 안정성 제공 (Scan기능)
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