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크린룸장비시험최종 수정 일자 : 2020-10-08 13:44:33
클린룸에 설치되는 휀 필터 유니트의 풍량과 토출부에서의 풍속분포를 측정하기 위한 장비로서,정압 챔버 시스템, 풍량측정장치, 보조송풍기,유속계(삼차원),유속계 이송 장치, 시험용 유니트 이송장치,계측 제어 장치 및 계측.제어 프로그램등으로 구성된다.
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