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반도체 장비용 스핀들최종 수정 일자 : 2020-09-15 11:05:07

  • 반도체 장비용 스핀들


     
     
    반도체 장비를 생산하는 데 있어서 기초 소재의 가공부터 세척 및 운반에 이르는 공정에 사용되는 스핀들은 높은 내구성과 내화학성 등을 요구하고 있으며, 최근 반도체의 고집적화로 인해 더 높은 정밀도의 스핀들을 필요로 하고 있습니다.

    팀스핀들은 세척공정 및 실리콘 가공 스핀들의 국산화로 수입의존도가 높은 반도체 장비용 스핀들을 대체하여 왔으며, 이제는 단순히 수입품을 대체하는 수준을 넘어 장비 성능 개량과 신규 장비 개발 수준에 도달하여 다양한 생산라인에서 쓰이고 있습니다.

     



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