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MFC최종 수정 일자 : 2020-08-27 09:50:00
■ MFC
질량유량제어기(Mass Flow Controller)
가스를 정밀하게 써야 하는 공정에서 기체의 유량을 계산하여 제어하는 장비입니다.
가스의 정확한 유량 제어가 필요한 경우, 또는 자동화 생산 라인 구축에 필수적인 장비입니다.
| MFC 구성
○ VIC-D210 (VIC-D200 Series)
- 테프론 디스크 적용으로 전 구간에서 응답시간이 빠름
- 독성 및 부식성 가스에 대한 내구성 대폭 증대
- 서지 및 내전압 보호 회로 채택
- 온도 보정으로 주위 온도 변화가 있어도 정확도 유지
| 제품사양
| VIC-D200 Series 외관 도면
○ VIC-D245 (VIC-D200 Series)
- 테프론 디스크 적용으로 전 구간에서 응답시간이 빠름
- 독성 및 부식성 가스에 대한 내구성 대폭 증대
- 서지 및 내전압 보호 회로 채택
- 온도 보정으로 주위 온도 변화가 있어도 정확도 유지
| 제품사양
| VIC-D200 Series 외관 도면
○ VIC-D145 (VIC-D100 Series)
- 테프론 디스크 적용으로 전 구간에서 응답시간이 빠름
- 독성 및 부식성 가스에 대한 내구성 대폭 증대
- 서지 및 내전압 보호 회로 채택
- 온도 보정으로 주위 온도 변화가 있어도 정확도 유지
| 제품사양
| VIC-D100 Series 외관 도면
○ CAF-145 (CAF Series)
- 더블디스크밸브 구조로 컴팩트한 사이즈로 대유량 제어 가능
- 저압에서 대유량 제어 가능
- 직동식이기 때문에 응답속도가 빠르고, 필터 장착없이 클린 공정에 적용 가능
- 피스톤 및 다이아프램 방식에 비하여 내구성이 뛰어남
| 제품사양
| CAF Series 외관 도면
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