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PECS Plasma Eye Chromatics Stethoscope System최종 수정 일자 : 2020-08-25 14:22:52
■ PECS Plasma Eye Chromatics Stethoscope System
PECS는 반도체의 플라즈마 공정 데이터를 초고속 옵티컬 센서(100KHZ)를 통해 수집/분석하여 어플리케 이션에 최적화된 알고리즘을 생성하여 운영 효율을 극대화하는 시스템입니다.
| 특장점
- 초고속/고해상도 옵티컬 센서
- 공정별 최적화된 알고리즘 제공
- 공정별 맞춤 센서 선택 가능
- Abnormal & Arc: HB-PSA
- EPD 및 클린 상태: HB-PSD
- Smart-Chamber 구현에 최적화
- Etch & PVD 이슈 방지
- 간편하고 직관적인 사용자 환경 및 분석기
- Chamber 상태 예측
- 기본 알고리즘 제공 및 설정 변경 기능
| 동작원리
| PECS 시스템 사양
- 공정별 타센서
- 시스템 사양
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