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염화동 콘트롤 시스템 RGB 시리즈최종 수정 일자 : 2020-08-25 13:22:11
■ 염화동 콘트롤 시스템 RGB 시리즈
염화동 콘트롤 시스템은 다중 분석 시스템을 기반하여 최적의 에칭 조건을 구현합니다. EF시리즈와의 간 편한 호환 및 연동을 바탕으로 최적의 에칭 팩터 및 수율 향상에 기여합니다.
| 염화동 컨트롤 시스템 사용의 이점
○ 최적의 에칭 조건 구현
- RGB 컬러센서/ORP/염산/비중 측정 등 다중 분석 기반
○ EF시리즈와 호환/연동으로 에칭 팩터 및 수율 향상
○ 제어 정밀도 향상 및 고장 리스크 방지
- 듀얼센서(RGB/ORP), Time On/Off 및 HBC 제어알고리즘 적용
○ 다중 실시간 트렌드 분석을 통한 각각의 센서값 관리
○ 사용자 편의성을 극대화한 직관적인 UI
○ 상/하한 경보시스템 및 센서 오동작 알람 기능
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