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미세패턴 전용 현상액최종 수정 일자 : 2020-08-25 13:14:39
■ 미세패턴 전용 현상액
| 특장점
DC시리즈는 탄산칼륨 베이스의 DF현상 농축액입니다. DF현상시 Resist-Foot 잔존 완화 및 Side-wall 부분의 과현상을 억제하여 미세패턴에 뛰어난 현상력을 제공합니다.
- Dry film 및 PSR 적용
- 생산성 향상
: 공정상 현상 스컴 발생 감소
- 경제적이며 취급이 용이함
| DF 현상테스트
| DF 현상 적용 사례
(DFR film :HITACHI, 25㎛)
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