압력센서-특수용최종 수정 일자 : 2020-08-13 13:30:34

ㆍGTP - EXN Series
비점화 방폭 센서

특 징
 부식성에 강한 Hastelloy Diaphragm
 Zero값의 Hard cal’ 기능 지원
 국내인증(KOSHA) 및 중국인증(NEPSI) 획득
 완벽한 외부 노이즈 억제
 현장에서 검증된 GTP Series의 비점화 방폭형 센서

적용범위 반도체 가스라인 방폭(2종 장소)이 필요한 장소
방폭등급 Ex nA II T4 (KOSHA) / Ex nA IIC T4 Gc (NEPSI)
방진방수등급 IP54
방폭인증번호 14-AV2BO-0468X (KOSHA) / GYJ14.1216X (NEPSI)
전원입력 MAX DC24V ±10%
측정범위 -15(0) ~ 100, 150, 200, 250, 500, 3000PSIG, etc
오차범위 ±0.3%F.S
온도드리프트 ±0.05%F.S/℃
주위온도 -20~80℃
사용유체온도 0~60℃
Diaphragm/Body 재질 Hastelloy(C-22)/SS316L
용접방식 전자빔 용접(Electron Beam Welding)
최대압력범위 x2 F.S (3000PSIG의 경우 1.5배)
Leak Rate <1x10-9
 Pam3 /SEC
표면조도 Ra : < 0.25㎛
배관 연결부 VCR 1/4”, VCR 1/2”, etc
출력형태 4~20mA(2선식)
Cable 2선 실드 (3M)기본

 
ㆍGTP - EXD Series
내압 방폭형 압력센서

-적 용 위험지역(1, 2종 장소)에서 배관내 가스 압력 측정
특 징
 부식성에 강한 Hastelloy Diaphragm
 Zero값의 Hard cal’ 기능 지원
 내압 방폭 센서중에 최소형, 경량화 구조
 국내인증(KGS) 및 중국인증(NEPSI) 획득
 완벽한 외부 노이즈 억제
 현장에서 검증된 GTP Series의 내압 방폭형 센서

 위험지역(1, 2종 장소)에서 배관내 가스 압력 측정

적용범위 반도체 가스라인 방폭(1, 2종 장소)이 필요한 장소
방폭등급 Ex d IIC T4 (KGS) / Ex d IIC T4 Gb (NEPSI)
방진방수등급 IP67
방폭인증번호 13-GA2BO-0209 (KGS) / GYJ14.1056X (NEPSI)
전원입력 MAX DC24V ±10%
측정범위 -15(0) ~ 100, 150, 200, 250, 500, 3000PSIG, etc
오차범위 ±0.3%F.S
온도드리프트 ±0.05%F.S/℃
주위온도 -20~80℃
사용유체온도 0~60℃
Diaphragm/Body 재질 Hastelloy(C-22)/SS316L
용접방식 전자빔 용접(Electron Beam Welding)
최대압력범위 x2 F.S (3000PSIG의 경우 1.5배)
Leak Rate <1x10-9
 Pam3 /SEC
표면조도 Ra : < 0.25㎛
외부 연결부 NPT 1/2” 기본(선택사양:NPT,PT 1/2”, 3/4”,1”)
배관 연결부 VCR 1/4” , VCR 1/2” , etc
출력형태 4~20mA(2선식)
Cable 2선 실드 (3M)기본

 
ㆍGTP - EXia Series
본질안전방폭형 압력센서

-적 용  위험지역(0,1,2종 장소)에서 배관내 가스 압력 측정
특 징
 부식성에 강한 Hastelloy Diaphragm
 Zero값의 Hard cal’ 기능 지원
 국내인증(KTL) 획득, 중국인증(NEPSI) 획득
 완벽한 외부 노이즈 억제
 현장에서 검증된 GTP Series의 본질안전 방폭형 센서

 위험지역(0,1,2종 장소)에서 배관내 가스 압력 측정

적용범위 반도체 가스라인 방폭(0,1,2종 장소)이 필요한 장소
방폭등급 Ex ia IIC T4 (KTL) / Ex ia II C T4 Ga (NEPSI, connector SN-4P Type 제외)
방진방수등급 IP65 (connector SN-4P Type 제외)
방폭인증번호 15-KA2BO-0252 (KTL) / GYJ15.1329 (NEPSI, connector SN-4P Type 제외)
전원입력 MAX DC24V ±10%
측정범위 -15(0) ~ 100, 150, 200, 250, 500, 3000PSIG, etc
오차범위 ±0.3%F.S
온도드리프트 ±0.05%F.S/℃
주위온도 -20~80℃
사용유체온도 0~60℃
Diaphragm/Body 재질 Hastelloy(C-22)/SS316L
용접방식 전자빔 용접(Electron Beam Welding)
최대압력범위 x2 F.S (3000PSIG의 경우 1.5배)
Leak Rate <1x10-9
 Pam3 /SEC
표면조도 Ra : < 0.25㎛
배관 연결부 VCR 1/4”, VCR 1/2”, etc
출력형태 4~20mA(2선식)
Cable 2선 실드 (3M)기본

전기적 파라메타
Ui=28V Ii=119mA Pi=0.835W Ci=0.032uF Li=30.85uH
Ui=28V li=119mA Pi=0.835W Ci=0.076uF Li=12.34uH (Cable Max 8m)
Ui=28V li=119mA Pi=0.835W Ci=0.076uF Li=30.85uH (Cable Max 20m)

 
ㆍHYP-B Series
Intrinsically Safe Explosion-Proof Construction Pressure Transmitter

-Application
Field-proven technology for monitoring any and all
types of gases

Features & Benefits
Hastelloy diaphragm applied and high corrosion resistance
Materials exposed to gas are UC grade ultra clean treated
4-20mA ampfiler built-in, 2 wire system
Conforming to the IEC intrinsically safe explosion-proof
construction standard, they can be used in ZONE 0 places
where are gas always exists
CE Mark / RoHS compliant
 
ㆍSE1000 Series
General Purpose Vacuum Gauge

-Application
Best solution for monitoring a range of atmospheric to vacuum
pressure at process systems including Load Lock chambers or gas
delivery lines.

Features & Benefits
Low cost general purpose vacuum gauge
Standard SS316L diaphragm
Reliable semiconductor technology and high performance
CE and RoHS compliant
 
ㆍSCM2100-□ Series
Vacuum Pressure Transmitter For High Temperature Applications

-Applications
・Best solution for new high-K ALD processes using high
molecular weight precursors
・Only available solution for applications >200℃!
・ALD or CVD of Nitride Films
・Organic thin film(Low-K,OEL etc)

Features & Benefits
Saffire™ stick sensor structure for in-situ two-sided pressure measurement
Reduced contamination of the sensor surface, resulting in reduced measurement drift
Sustainable high measurement accuracy maintained throughout even high temperature operation
Small footprint allows for mounting near chamber or any tight space
Ambient airflow is not required to cool electronics, built-in fan for over 200℃ model
Mounting orientation has no affect on sensor zero
Crystalline sensor design is robust when exposed to high pressure
Factory calibrated temperature compensation algorithm results in fast startup

 
ㆍSCM2100-V Series
Precision Vacuum Measurement

-Applications

・Saffire™ vacuum sensor is designed to reduce the drift and ambient pressure
  sensitivity associated with metal diaphragm capacitive gauges
・The SCM2100-V is the perfect solution for controlling or monitoring process
  gases of any type in vacuum applications

Features & Benefits

Saffire™ stick sensor construction results in two sided naturally balanced
　pressure measurement
Small footprint allows for mounting near chamber or in thigh space
Mounting orientation has no affect on sensor zero
Crystalline sensor design results in a robust zero stability when exposed to
   high pressure
4-20mA loop (15VDC) output , disconnection detect function
IP65
Auto zero function