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시너스(주)

반도체 제조용 기계 제조업031-497-1740

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반도체 장비 부품최종 수정 일자 : 2020-07-21 10:25:48

CMP Retainer Ring (300mm)

▣ PEEK Insert Molding 형 300mm CMP Retainer Ring

▣ Insert Molding 제작으로 노출된 Metal Part 없음.

▣ Slurry 세척을 위해 측면 원주에 균일한 Hole 제작

CMP Retainer Ring (200mm & 300mm)

▣ SUS316+PEEK Bonding형 200 & 300mm CMP Retainer Ring

▣ SUS316 채택으로 Chemical에 대한 내식성이 뛰어남.

▣ 동일 방식의 PPS & LL5 소재에 대한 대응 가능

CMP Retainer Ring (300mm)

▣ PEEK Insert Molding 형 300mm CMP Retainer Ring

▣ Insert Molding 제작으로 결합부가 없음,

CMP Retainer Ring (200mm & 300mm)

▣ SUS316+PEEK Bonding형 200 & 300mm CMP Retainer Ring

▣ SUS316 채택으로 Chemical에 대한 내식성이 뛰어남.

▣ 동일 방식의 PPS & LL5 소재에 대한 대응 가능

CMP Retainer Ring (200mm & 300mm)

▣ SUS316+PEEK Bonding형 200 & 300mm CMP Retainer Ring

▣ SUS316 채택으로 Chemical에 대한 내식성이 뛰어남.

▣ 동일 방식의 PPS & LL5 소재에 대한 대응 가능

PI Products (Poly Imide)

▣ Meterial : PI

▣ Application : Dry Etch 공정 및 CVD 공정에서 주로 사용

PEEK Products (Poly Ether Ether Ketone)

▣ Meterial : PEEK

▣ Application : 반도체, LCD 제조 장치 부품으로 주로 사용

◆특성

▣ 용해 성형 가능한 결정성 수지로서는가장 높은 내열성을 가지고,
내피로성, 내환경성, 난소성(부식성 가스를 내지않고, 연기의 발생도 적다.) 등이 뛰어나므로 전기·전자 분야, 항공우주 분야등 엄한 조건하에서 고성능을 요구하는 분야에 사용되어 있다.
기계적 성질은, 강성과 함께 신장율도 크고 내 충격성이 뛰어나 지극히 강인한재료이다.

▣ 연속 사용온도 : 250℃

▣ 연소 되는 상태 : 불연

PPS & PBI Products

▣ Meterial : PPS, PBI

▣ Application : 반도체, LCD 제조 장치 부품으로 주로 사용

◆PPS 특성

▣ 강성이 높은 결정성 폴리머로, 지극히높은 내열성과 내약품성이
뛰어난 난소성을 가지는 수지로서 유리 섬유 등 무기질 충전재로
강화하면 높은 내열성, 강도, 강성 등의 뛰어난 치수 안정성이
부여되는 것과 동시에, 열가소성 수지로서의 뛰어난 가공성을
겸비한 내열 엔지니어링 플라스틱이다.

▣ 연속 사용온도 : -20℃ ~230℃, 용융점 285℃,
비중 : 1.35

▣ 연소 되는 상태 : 부풀어 오름, 유황 냄새

▣ LL5 : Quadrant EPP 에서 개발된 CMP전용 신소재 플라스틱
Ppp p일반 PPS보다 내마모성이 4~5배이상 향샹됨

◆PBL 특성
▣ 비 강화 플라스틱 중 최저의 열팽창계수 및 최고의 압축 강도를
갖고 있으며 고온에서 최고의 기계적 강도 및 내마모성을 가지고
있어 수치 안정성이 우수함. 이온 불순물이 매우 적고, 물 이외에는
Outgas 가 발생하지 않아 반도체 및 LCD /PDP 제조업체에서 Wafer/Glass 와 접촉하는 부품 및 Vacuum Chamber내 부품으로
적합함.

▣ 열변형 온도 : 427℃

▣ 연소되는 상태 : 부풀어 오름

▣ 대표적인 상품명 : 세라졸(Celazole)

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