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성진세미텍(주)

반도체 제조용 기계 제조업031-498-4671

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세정설비최종 수정 일자 : 2020-07-17 09:39:16

■ 핸드샤워

- 규격 : 440x310(390)x1250mm
- 재질 : SS41 & SUS304
- 용도 : 라인 입실전/후 손 세정 및 AIR 건조
- 안정장치 : 과온 SENSOR

■ VACUUM BAKE OVEN

- 재질 : SUS304 外
- 용도 : PART’S WET 세정 후 열풍건조 및 OUT - GASING
- 안정장치 : S-MARK , INTER LOCK SENSOR

■ BAKE OVEN

- 재질 : SUS304 外
- 용도 : PART’S WET 세정 후 열풍건조
- 안정장치 : S-MARK , INTER LOCK SENSOR

■ WET STATION(ACID)

- 재질 : SUS316 外
- 용도 : CHEMICAL WET 세정
- 안정장치 : S-MARK , INTER LOCK SENSOR

■ WET BENCH ( ACID + ORGANIC + ULTRA SONIC )

- 재질 : PVDF + PVC
- 용도 : CHEMICAL WET 세정
- 안정장치 : S-MARK , INTER LOCK SENSOR , LEAK SENSOR

■ LIQUID HORNING MACHINE(2CHA)

- 규격 : 2300×1050×1630
- 재질 : SUS 316 外
- 용도 : PART’S 에 붙어있는 이물제거 및 표면에 일정한 ROUGHNESS 형성
- 안정장치 : S-MARK , INTER LOCK SENSOR

■ ULTRA SONIC

- 재질 : SUS316 外
- 용도 : PART’S 의 미세 WET 세정용
- 안정장치 : S-MARK , INTER LOCK SENSOR , LEAK SENSOR

■ FOUP 세정기

- 규격 : 900*1050*1512 (주문제작 가능)
- 재질 : SUS316 + AL PROFILE
- 용도 : FOUP WET 세정 및 이물관린
- 안정장치 : INTER LOCK SENSOR , LEAK SENSOR

■ PART’S CLEAN STATION

- 재질 : SUS316 外
- 용도 : PART’S의 건식 세정 및 이물제거
- 안정장치 : MANUAL INTER LOCK

■ WET STATION ( ORGANIC + ULTRA SONIC )

- 재질 : SUS316 外
- 용도 : CHEMICAL WET 세정
- 안정장치 : S-MARK , INTER LOCK SENSOR , LIMITE TEMP SENSOR

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