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성진세미텍(주)

반도체 제조용 기계 제조업031-498-4671

자동화최종 수정 일자 : 2020-07-17 09:16:31

■ GLASS CASSETTE MGV1

- 규격: 985*1640*2500 (주문제작 가능)
- 재질 : AL PROFILE 外
- 용도 : GLASS CASSETTE 물류 반송용
- 안정장치 : S-MARK , INTER LOCK SENSOR , BMS(TEMP&FIRE)

■ GLASS CASSETTE MGV2

- 규격: 1050*1628*1485 (주문제작 가능)
- 재질 : AL PROFILE 外
- 용도 : GLASS CASSETTE 물류 반송용
- 안정장치 : S-MARK , INTER LOCK SENSOR , BMS(TEMP&FIRE)

■ GLASS CASSETTE MGV3

- 규격: 1030*1360*1425 (주문제작가능)
- 재질 : AL PROFILE 外
- 용도 : GLASS CASSETTE 물류 반송용
- 안정장치 : S-MARK , INTER LOCK SENSOR , BMS(TEMP&FIRE)

■ GLASS CASSETTE MGV4

- 규격: 1050*1628*1485 (주문제작 가능)
- 재질 : AL PROFILE 外
- 용도 : GLASS CASSETTE 물류 반송용
- 안정장치 : S-MARK , INTER LOCK SENSOR , BMS(TEMP&FIRE), 전자클러치

■ MASK CASE MGV

- 규격: 1110*2330*1550 (주문제작 가능)
- 재질 : AL PROFILE 外
- 용도 : PHOTO 설비 MASK CASE LOAD / UNLOAD

- 안정장치 : CE-MARK , INTER LOCK SENSOR

■ FILM BOX MGV

- 규격: 1270*1862*3014 (주문제작 가능)
- 재질 : AL PROFILE 外
- 용도 : FILM BOX 물류 반송용

- 안정장치 : S-MARK , INTER LOCK SENSOR , BMS(TEMP&FIRE)

■ METAL MASK CASSETTE MGV1

- 규격: 1462*2470*2300 (주문제작 가능)
- 재질 : AL PROFILE 外
- 용도 : MASK CASSETTE 물류 반송용

- 안정장치 : S-MARK , INTER LOCK SENSOR , BMS(TEMP&FIRE)

■ METAL MASK CASSETTE MGV2

- 규격: 710*1142*2184 (주문제작 가능)
- 재질 : AL PROFILE 外
- 용도 : MASK CASSETTE 물류 반송용

- 안정장치 : S-MARK , INTER LOCK SENSOR , BMS(TEMP&FIRE)

■ VACUUM CHAMBER MGV

- 규격: 1110*2330*1550 (주문제작 가능)
- 재질 : AL PROFILE + SUS304
- 용도 : 유기 증착 GLASS N2 CHARGE & TRENSFER LOAD / UNLOAD

- 안정장치 : 안전STOPPER , END STOPPER

■ MASK LIFT MGV

- 재질 : AL + SUS304
- 용도 : MASK 물류 반송용

- 안정장치 : S-MARK , INTER LOCK SENSOR , BMS(TEMP&FIRE)

■ GLASS MGV

-재질 : AL + SUS304 外

-용도 : 낱장의 GLASS를 OVEN에 LOAD / UNLOAD

- 안정장치 : S-MARK , INTER LOCK SENSOR

■ 원장용 MGV

-재질 : AL + SUS304 外

-용도 : 낱장의 GLASS를 OVEN에 LOAD / UNLOAD

- 안정장치 : S-MARK , INTER LOCK SENSOR , BMS(TEMP&FIRE), BUMPER SWICH

■ ESC MGV

-재질 : AL PROFILE 外

-용도 : 증착설비 ESC LOAD / UNLOAD

- 안정장치 : CE-MARK , INTER LOCK SENSOR

■ FLIM CUTTING MACHINE

-재질 : AL PROFILE 外

-용도 : PACKIGE 공정용 FLIM 자동절단 및 이송장치

- 안정장치 : S-MARK , INTER LOCK SENSOR

■ LENS MOUNT LEAK TESTER

-재질 : AL PROFILE 外

-용도 : ELA 광학 LENS MOUNT LEAK TEST

- 안정장치 : S-MARK , INTER LOCK SENSOR

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