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스퍼터링 시스템 (배치 형)최종 수정 일자 : 2020-11-06 10:27:49
특징
장비 유지 보수 용이
arc와 magnetron sputter 조합으로 유연한 생산
대차 방식으로 loading / unloading 용이
전자동 운전 및 원격제어
SPECIFICATION
응용 분야
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