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TSP최종 수정 일자 : 2020-11-04 11:01:29
본 장비는 TSP ITO GLASS CELL 제작 공정중 세정 라인 이며,
수평 Conveyor Type 으로 처리 하는 장치 입니다.
*.공정
투입(정렬) - UV세정 - 탈지 세정 - 세정 - AIR CUT - HOT
DRY - HOT PLATE - 냉각 - 배출(정렬)
*상세사양
본 설비는 ITO PET FILM에 노광 후 현상,에칭,박리 공정을 거쳐
목적하는 고정밀 회로를 형성 하는 공정 설비 이며, ITO PET FILM
기판 생산에 적합한 구조로 설계 되었읍니다.
*.공정
1.SHEET : 현상-수세-건조-메탈에칭-수세-건조-ITO 에칭-수세-박리-수세-최종건조
2.ROLL to ROLL : 권출(UNCOILER)-현상-수세-건조-메탈에칭-수세-건조-ITO에칭-
수세-박리-수세-최종건조-권취(RECOILER)
본 장비는 ITO GLASS CELL을 현상,에쳐,박리 공정을 거쳐
TSP SENSOR를 제작하는 장비며, 수평 CONVEYER TYPE으로
이송하는 구조임.
*.공정
1.현상 : 투입(정렬) - 현상 - 세정 - AIR CUT - 배출(정렬)
2.에쳐 : 투입(정렬) - 에쳐 - 세정 - AIR CUT - 배출(정렬)
3.박막 : 투입(정렬) - 박막 - 세정 - AIR CUT - 배출(정렬)
*.세부 사양
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