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기체 여과기 제조업031-319-1778

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ULPA 필터최종 수정 일자 : 2020-10-23 11:46:33

ㅇSEPARATOR TYPE

• 특징 및 용도

- 0.1µm~0.2µm 입자를 기준으로 한다.

- 99.99995% 이상을 포집할 수 있는 초고성능 Filter이다.

- 저압손형이며 가볍고 취급이 쉽다.

- 반도체 제조공정 등의 CLASS 10이하에 적용한다.

- 내식성이 강한 알루미늄 후레임으로 사용한다.

- FFU에 적용한다.


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